硅压力传感器芯片的运用领域?及一些特色是什么?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/27 15:18:09
硅压力传感器芯片的运用领域?及一些特色是什么?

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硅压力传感器芯片的运用领域?及一些特色是什么?
应用:
1汽车轮胎压力监测 2发动机控制 3大气压力测量 4空压表 5手执压力计
特色:
①固态、MEMS技术、高可靠性 ②低成本、小尺寸 ③标准压力范围:0-100KPa; 0-700KPa
④非线性 < 0.20%FSO ⑤硅/硅键合芯片,稳定性好